硅片清洗机的种类

【硅片清洗机】的种类

1.    湿法化学清洗系统既可以是槽式的又可以是旋转式的。一般设备主要包括一组湿法化学清洗槽和相应的水槽，另外还可能配有甩干装置。硅片放在一个清洗专用花篮中放入化学槽一段指定的时间，之后取出放入对应的水槽中冲洗。对于清洗设备的设计来说，材料的选择很重要。使用时根据化学液的浓度、酸碱度、使用温度等条件选择相应的槽体材料。从材质上来说一般有NPP、PVDF、PTFE、石英玻璃、不锈钢等。例 如: PVDF、PTFE、石英玻璃等一般用在需加热的强酸强碱清洗，其中石英玻璃不能用在HF清洗中，NPP 一般用在常温下的弱酸弱碱清洗，不锈钢一般用在有机液清洗。而常温化学槽，一般为NPP 材料。

2.    槽内溶液可加热到 180℃ 甚更高，它一般由石英内槽、保温层、塑料( PP) 外槽组成。石英槽加热可以通过粘贴加热膜或者直接在石英玻璃上涂敷加热材料实现。石英槽内需安装温度和液位传感器，以实现对温度的无误控制以及槽内液位的检验，防止槽内液位过低造成加热器干烧。除此之外 PVDF( PTFE) 加热槽也较为常用，这类加热槽常用于HF溶液的清洗中。由于受到槽体材料的限制，这类加热槽只能使用潜入式加热，潜入式加热器一般有盘管式和平板式两种，加热器外包覆PFA管。

3.    随着清洗要求的不断提高，槽体还可以选配循环、过滤等功能。循环功能主要是为了药液混合环境更均匀，有时也在加入循环泵，使得液体在槽内循环流动；而过滤功能则是药液在清洗过程中产生一些杂质，有时会影响清洗效果，这时加入了过滤功能后，更利于过滤杂质，增加清洗作用。