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硅片清洗机中的超声波清洗缺点

发布日期：2020-05-04 内容来源于：http://www.szsi-tech.com.cn/

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【硅片清洗机】中的超声波清洗缺点

超声波清洗缺点：

1. 超声波对颗粒大小不同的污染物的清洗作用不一样，颗粒尺寸越大，清洗作用越好；

2. 但是颗粒尺寸变小时，清洗作用不佳，对于粒径只有零点几微米的颗粒，需要利用兆声清洗才能去除；

3. 在空穴泡爆破的时候，能量会对硅片造成一定的损伤。

硅片清洗机

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