湿法清洗设备的构成要素有哪些

一台湿法设备还是比较复杂，属于精密仪器。当然我们看到的是庞大的它，其实这设备也是由不少部件组成的。下面来考考你，你知道湿法清洗设备的构成要素有哪些？

湿法清洗设备的构成要素主要包括以下几个部分：

一、清洗槽体

材质与结构

通常由高质量的耐腐蚀材料制成，如不锈钢（316L）、聚四氟乙烯（PTFE）、聚丙烯（PP）等。这些材料能够抵抗清洗液的腐蚀，确保设备在长期使用过程中不会被清洗液侵蚀损坏。

清洗槽的形状和尺寸根据清洗对象的不同而有所差异。例如，对于半导体芯片清洗，可能需要多个小型的矩形或圆形槽体，以适应不同尺寸的晶圆。

功能与设计特点

具有良好的密封性，防止清洗液泄漏和挥发，同时避免外界杂质进入清洗环境。

内部通常设计有用于固定和放置清洗对象（如晶圆、硅片框架等）的装置，如支架、夹具等，确保清洗对象在清洗过程中处于稳定的位置，并且各个表面都能充分接触到清洗液。

二、清洗液供给系统

清洗液储存容器

用于储存不同类型的清洗液，如酸性清洗液（硫酸 - 过氧化氢混合液、氢氟酸等）、碱性清洗液（氢氧化铵、氢氧化钾等）、去离子水等。这些容器一般采用化学惰性材料制造，如塑料或特殊处理的金属容器，以避免清洗液与容器发生反应。

容器上配备有液位传感器，用于实时监测清洗液的剩余量，当清洗液不足时，能及时发出警报，提醒操作人员添加清洗液。

输液管道与泵

输液管道用于将清洗液从储存容器输送到清洗槽中，通常采用耐压、耐腐蚀的聚四氟乙烯或不锈钢管道。

泵是清洗液供给系统中的关键部件，用于提供清洗液流动的动力。常用的泵有离心泵、隔膜泵等，其材质也需要与清洗液兼容。通过控制泵的流量和压力，可以精确地调节清洗液的供给速度和喷射力度，以满足不同的清洗需求。

三、循环过滤系统

过滤器

用于去除清洗液中的颗粒杂质、残留的污染物以及在清洗过程中脱落的物质。过滤器的类型有多种，包括袋式过滤器、筒式过滤器、滤芯式过滤器等。其中，滤芯的精度可根据清洗要求选择，从几微米到几十微米不等。

过滤器通常安装在清洗液的循环回路中，确保清洗液在每次循环过程中都能得到净化，保持清洗液的清洁度和清洗效果。

循环泵

促使清洗液在清洗槽和过滤系统之间循环流动。与清洗液供给系统中的泵类似，循环泵也需要具备良好的耐腐蚀性和稳定性。它能够使清洗液在清洗过程中不断更新，提高清洗效率，并确保清洗对象表面的各个部位都能均匀地受到清洗液的作用。

四、温度控制系统

加热装置

许多湿法清洗过程需要对清洗液进行加热，以提高清洗效果。加热装置通常采用电热丝、电磁感应或蒸汽加热等方式。例如，在一些碱性清洗液的使用过程中，将温度升高到一定范围可以增强清洗液对有机物和油污的去除能力。

加热装置与清洗槽体连接，通过热交换器或直接加热的方式，将清洗液加热到设定的温度，并且能够精确控制温度在一定范围内波动。

温度传感器与控制器

温度传感器用于实时监测清洗液的温度，常见的温度传感器有热电偶、铂电阻等。它将温度信号传输给温度控制器，温度控制器根据设定的温度值与实际测量值进行比较，然后通过调节加热装置的功率或通断，来维持清洗液的温度稳定在预设的范围内。

五、超声系统（若有）

超声波发生器

如果是超声湿法清洗设备，会配备超声波发生器。超声波发生器产生高频电能，其频率一般在20kHz - 100kHz之间，然后将高频电能传输给超声换能器。

超声换能器

超声换能器通常安装在清洗槽的底部或侧壁，它将超声波发生器产生的高频电能转化为机械振动，即超声波。这些超声波在清洗液中传播时，会产生空化效应，无数气泡在液体中瞬间形成并破裂，产生强大的冲击力和微射流，能够有效地去除半导体表面的微小颗粒和污垢。