boe清洗机槽体结构介绍

想要了解一台机器，机器结构一定是你的入门内容。今天我们来说的是boe清洗机槽体结构介绍，如果你感兴趣，我们一起来看看吧！

BOE清洗机槽体结构主要由耐腐蚀机架、酸槽、水槽、干燥槽、控制单元、排风单元以及气体和液体管路单元等几大部分构成。

槽体材质

不锈钢：主要用于有机溶液或碱性溶液的槽体制作，具有良好的耐腐蚀性。

石英：用于酸性溶液的槽体，耐高温，可承受高达200摄氏度至400摄氏度的温度。

高纯度聚丙烯：适用于温度小于80摄氏度的酸碱溶液。

聚氟乙烯：常用于承装BOE及氢氟酸，要求温度最高不超过120摄氏度。

聚四氟乙烯：可用于几乎所有的酸碱及有机溶液，耐温小于150摄氏度。

槽体功能

酸碱刻蚀槽：用于使用酸碱刻蚀液进行材料表面的刻蚀处理。

溢流清洗槽：通过底部持续注入去离子水，从上部四周外溢，带走污染物。

快速排水清洗槽：先从槽体上部喷淋以及底部注入去离子水，等到一定量后快速排空，反复3-4个循环。

超声槽：利用超声波在水中或溶液中生成气泡，气泡破裂释放强大动能，提高清洗效率。

干燥槽：用于在清洗后的最短时间里去除晶圆表面的水分，避免留下水痕。

槽体设计特点

全溢流循环设计：确保药液能够循环使用，提高利用率。

层流净化系统：保持清洗环境的洁净度。

电气控制系统：采用先进的PLC全自动控制，实现工艺配方功能。

药液自动补液系统：确保清洗过程中药液的充足供应。

干燥装置：配备IPA干燥系统，有效去除晶圆表面的水分。

BOE清洗机的槽体结构是一个复杂的系统，它通过集成多个关键组件和技术，实现了对各种材料表面污垢的有效去除。在选择和使用BOE清洗机时，应充分考虑清洗对象的特性、污染物的类型以及所需的清洗效率和质量，以确保达到最佳的清洗效果。