刻蚀机设备有哪些零部件组成

刻蚀机设备我们也给大家说了好多内容，但是大家想说，这样的机器到底有哪些部分组成呢？说到机器，大家一定头疼，毕竟是一个庞然大物，当然零件也是成千上万。但是，重点的核心零件也是有限的，为了满足大家的好奇心，我们就来说说这些重点零件吧！

刻蚀机设备主要零件有哪些：

腔体：是形成密闭反应环境的主体，是其他零件装配和实现功能的载体。其技术难度在于特征尺寸多、器型大、真空密封区域长以及大面积形体的表面质量需具备高均匀性。

内衬：位于核心反应区，用于隔离强腐蚀性反应环境，从而保护腔体和其他部件。它需要定期清洗或更换，因为长期直接接触强腐蚀性环境会导致表面质量问题。

加热器：位于核心反应区，是实现热场控制的功能性器件，直接作用于晶圆。产品需要持续性稳定工作能力和较长的使用寿命。

匀气盘：也是位于核心反应区的关键零件，用于实现气体均匀分布，直接参与晶圆反应。它需要持续、稳定、均匀地将气体通过覆盖至晶圆表面。

聚焦环：放置在晶圆外部、直接接触晶圆的重要部件，通过施加电压以聚焦等离子体，从而提高加工的均匀性。

喷嘴：用于精确控制气体流速和均匀性，将气体均匀地分散到蚀刻工艺室中。

静电卡盘（ESC）：在晶片刻蚀的整个过程中，晶片被下电极系统中的静电卡盘吸附固定住，并通过射频RF在晶片上形成DC bias（直流偏压），促成等离子体对晶片的刻蚀反应。

视窗镜：视窗镜对材料透光率、耐刻蚀性要求较高，用于观察刻蚀过程。

所以，这些零件都是不可替换的。但是如果要选择一家厂家来说的话，不仅仅是配件的内容，更多的还是需要考察他们的核心工艺与技术。这个才是重点中的重点。如果大家感兴趣，欢迎大家预约来我们公司实体参观。