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石英舟腐蚀清洗方法

发布日期:2024-12-03 内容来源于:http://www.szsi-tech.com.cn/

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石英舟在高温和腐蚀环境下使用后,表面可能会残留杂质或受到腐蚀,影响其使用寿命和性能。因此,定期清洗石英舟是必要的。但是如何选择比较科学适合的方法,我们下面给大家准备了几个方法介绍,大家可以选择适合自己的。


物理清洗法:


刷洗法:使用软毛刷或专用的石英舟清洗刷,轻轻刷洗石英舟表面,去除表面的杂质和颗粒。注意要控制刷洗的力度,避免划伤石英舟表面。

超声波清洗法:将石英舟放入超声波清洗机中,利用超声波的振动作用,使石英舟表面的杂质和颗粒脱落。这种方法适用于清洗形状复杂或表面有难以去除的污渍的石英舟。


化学清洗法:


酸洗法:使用酸性溶液(如氢氟酸、盐酸等)对石英舟进行浸泡或擦拭,以去除表面的金属离子和其他污染物。但需要注意的是,酸洗可能会对石英舟的表面造成一定的腐蚀,因此应控制酸洗的时间和浓度。


碱洗法:使用碱性溶液(如氢氧化钠、氢氧化钾等)对石英舟进行清洗,可以去除有机物和部分无机物污染。但碱性溶液也可能对石英舟的表面造成一定的损害,因此同样需要控制清洗时间和浓度。


其他清洗方法:


高温处理法:将石英舟放入高温炉中进行处理,利用高温使杂质挥发或分解。这种方法适用于去除石英舟内部的有机污染物和部分无机污染物。但高温处理可能会导致石英舟的性能发生变化,因此需要在合适的温度下进行。


等离子体清洗法:利用等离子体的高能量状态对石英舟表面进行轰击和清洗,可以去除表面的污染物和改善表面的性能。这种方法具有高效、环保等优点,但设备成本较高。


石英舟腐蚀清洗方法.jpg

相关标签: 硅片清洗机 晶圆清洗机 自动湿法清洗台

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