槽式清洗机由哪些部分构成

槽式清洗机的主要作用是用于半导体制造过程中的晶圆表面清洗，那么当我们打算采购这么一款机器的时候，我们需要了解一个基本要求。那就是得知道，到底槽式清洗机有哪些部分组成？

槽式清洗机构成部分一览

槽式清洗机主要由耐腐蚀机架、酸槽、水槽、干燥槽、控制单元、排风单元以及气体和液体管路单元等几大部分构成。

耐腐蚀机架：用于支撑整个设备的结构和各个部件，保证设备的稳定性和耐用性。

酸槽：装有酸性清洗液，用于去除晶圆表面的特定污染物。

水槽：有去离子水或其他清洗液，用于进一步清洗或冲洗晶圆。

干燥槽：用于去除晶圆表面的水分，防止后续工序中的污染。

控制单元：负责对清洗过程进行精确控制，包括温度、时间、液体循环等参数的调节，以确保清洗效果和稳定性。

排风单元：在清洗过程中，会产生一些有害气体或蒸汽，排风单元可以将这些废气及时排出，保证工作环境的安全和清洁。

气体和液体管路单元：负责输送清洗所需的气体和液体，确保各个槽体之间的液体能够正常循环和排放。