Foup清洗机的喷淋系统有哪些特点

Foup清洗机的喷淋系统是其核心组成部分之一，主要负责将清洗液均匀地喷洒到待清洗的晶圆或部件上，以达到高效去除污染物的目的。那么具体我们没有说过Foup清洗机的喷淋系统有哪些特点，今天我们就来说说这个大家期待已久的核心内容吧！

Foup清洗机的喷淋系统特点一览

多级精密过滤：多套精密过滤系统，有效保证洁净度等级满足10/100级工艺要求。

360度清洗：多种喷淋清洗工艺，可实现360°全方位清洗，确保制程的高精度清洗需求。

真空干燥系统：配备真空干燥系统，可提升效率，满足低湿度要求，并实时监控湿度。

自动化控制：采用工控机+PLC控制方式，操作简单方便，满足SECS/GEM通信要求。

自动装载卸料：支持自动装载口和主流E84传感器，对接OHT天车，实现稳定高效的自动化生产线解决方案。

独立控制：每个空腔可独立控制，互不干扰，提供灵活的操作模式。

实时监测：内置氮气填充和FOUP内部温湿度检测系统，避免FOUP二次污染。

高效烘干：采用离心+热风进行烘干等工艺，高效率、高质量完成foup的Particle清洗。