苏州芯矽电子科技有限公司
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石英炉管清洗机是一款用于清洗石英炉管的设备,既然如此,大家完成一切采购后,最想要做的事情就是了解石英炉管清洗机使用方法。毕竟这个使用方法的良好掌握,不仅仅需要尽快培训员工,还能减少时间,尽快把机器投入到生产中,达到我们想要的目的。
那么,下面我们就一起来看看,石英炉管清洗机使用方法吧!从概括来说,其实具体的石英炉管清洗机操作方法可以概括为:
准备工作:
记得,我们说过的,一切的工作操作之前都得检查,前期工作主要以检查为中心。我们需要检查设备是否完好,确保所有连接正常,无泄漏现象。确定一切安全后,我们可以准备好所需的清洗剂(如氢氟酸等)、去离子水、防护用具(如防护眼镜、防酸手套)等工作。
1、正式进入第一步操作,就将需要清洗的石英管放入清洗机的槽内,管口朝向制绒间,管尾指向扩散炉所在方向。
2、这个就是一个需要经验的合理搭配,因为根据石英管的使用情况和清洗要求,设定酸槽和水槽的清洗时间。只有掌握一切,才能达到最佳效果。还需要注意的是,对于酸槽未启动的情况,应每隔2个小时将石英管旋转180°,以保证清洗均匀。
3、正式开启酸洗。拉下防护门,按下控制面板中“酸槽启动”按钮,开始酸洗过程。酸洗过程中,操作人员需佩戴好防护装备,避免接触到酸性溶液。
4、酸洗结束后,戴上防护眼镜和手套,将石英管从酸槽取出,轻放入水槽。将水槽内的水排空后,用水枪冲洗石英管内外壁约5分钟。冲洗时不要按下“水槽启动”按钮,如果已经按下了应再按下“水槽结束”按钮。然后从管口向管尾方向冲洗管内壁,冲洗时应仔细认真,不要有残留未冲到的区域。2分钟后,将石英管旋转180°,再用同样方式冲洗2分钟。重复上述冲洗步骤,确保石英管内外壁清洗干净,无颗粒状磷化物残留。
5、将纯水注入水槽,水位以能没过石英管尾部的中间通气管为准。拉下防护门,然后将水槽清洗时间设定为30min,按下“水槽启动”按钮。重复纯水清洗步骤,再清洗一遍。
6、水槽结束后,将水槽内的水排空。然后参照冲洗的方法用水枪再次冲洗石英管内/外壁,重点冲洗内壁。约5分钟后用水枪冲洗管尾的四个小通气管,重点同样是管内壁。冲洗2分钟后再继续从管口方向冲洗,此步清洗时间应不少于15分钟。清洗好后,将石英管放到净化间的指定位置,下面垫上专用的泡沫。将管口和尾管用专用铝箔密封。
完成了整个过程后,我们还是需要给大家说几点注意事项:
整个清洗过程应严格按照扩散工序相关工艺安全标准进行。
搬运石英管或将石英管放入清洗槽/从清洗槽取出时应使用专门的塑料套管,且石英管应轻拿轻放,切勿与清洗槽或其他物品发生碰撞或接触。
如果清洗后超过1星期未使用,应重新进行清洗。