晶圆单片式清洗机使用方法

相信大家都知道，晶圆单片式清洗机。但是针对它的正确使用方法，不少人还是比较陌生的。不管你们是想要购入，或者已经购入了我们公司的晶圆单片式清洗机产品，这里给大家分享一个具体规范的使用方法。

晶圆单片式清洗机的操作规则包括操作前准备、启动清洗机、加载晶圆、调整参数、开始清洗、结束清洗以及清洗机关机等步骤。

操作前准备

检查电源状态：确保清洗机与电源连接正常，开关处于关闭状态。

检查水箱状态：检查清洗机的水箱是否有足够的水，并保持水质良好。

准备清洗剂：准备好清洗机所需的清洗剂，并确保其保存在安全的位置。

启动清洗机

开启电源：打开清洗机的电源开关，在电源指示灯亮起后，打开开关面板。

检查工作状态：检查清洗机各个部分的工作状态，确保各个部分都正常运行。

选择程序：根据需要，选择合适的清洗菜单或自定义清洗程序。

加载晶圆

检查晶圆箱：检查晶圆箱，并确保晶圆的封装完好，无污染物。

取出晶圆：打开晶圆箱，将晶圆轻轻取出，并避免接触晶圆的表面。

放置晶圆：将晶圆放入晶圆支架中，确保晶圆放置平稳。

调整参数

调整清洗时间：根据晶圆的尺寸和要求的清洗效果，调整清洗机的参数，如清洗时间、温度等。

选择清洗剂：根据需要选择合适的清洗剂，并根据清洗剂的要求调整剂量。

开始清洗

关闭门：关闭清洗机的门，并确保门密封良好。

启动清洗：打开清洗机的开始按钮，清洗机开始工作。

观察状态：在清洗过程中，密切观察清洗机显示屏的工作状态，并随时调整参数，以达到最佳清洗效果。

结束清洗

停止清洗：清洗机完成清洗后，关闭清洗机的开始按钮。

取出晶圆：打开清洗机的门，并取出清洗完成的晶圆。

检查效果：检查晶圆的清洗效果，并确保晶圆无污染物。

封好晶圆箱：将晶圆放回晶圆箱中，并封好晶圆箱。

清洗机关机

关闭电源：关闭清洗机的电源开关，待电源指示灯熄灭后，关闭开关面板。

清洁设备：清除清洗机内的剩余水和清洗剂，并彻底清洁清洗机的各个部分。

断开电源：将清洗机与电源断开连接，将清洗机周围环境整理干净